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带你了解一下我国的电子气体
2018年全球集成电路用电子气体的市场规模达到45.12亿美元,同比增长16%,半导体用电子特气行业增速高,庞大的市场规模,让电子特气的国产替代计划全面加速! 什么是电子气体呢? 电子气体指的是用于半导体、平板显示、发光二极管、太阳能电池及其它电子产品生产的基础性源材料,被广泛的应用于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。电子气体的主要应用范围包括电子行业、太阳能电池、移动通讯、汽车导航及车载音像系统、航空航天、军事工业等诸多领域。 电子特气按其本身化学成分可分为:硅系、砷系、磷系更多
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武汉高芯科技有限公司与我司达成合作
武汉高芯科技有限公司, 是武汉高德红外股份有限公司的全资子公司,是国内规模最大、技术最先进、产品线最完整的红外热成像芯片技术与九游会体育的解决方案提供商。公司成立于2013年4月,拥有全球领先的、完全自主可控的制冷式、非制冷式探测器生产线及系统研发能力,是国家认定的集成电路生产企业。公司产品及九游会体育的解决方案可广泛应用于国防安全、测温检测、安全监控、个人视觉、智能交通、智能家居,等多个领域。 在行业内已持有多项专利证书,与此同时“红外热成像”技术也取得一定的成绩,目前正在研发制冷红更多
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三氟化氮等特种电子气体高速发展
近年来,《中国制造2025》、《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》、《关于集成电路生产企业有关企业所得税政策问题的通知》等政策扶持,我国超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池等产业迅速发展。同时,含氟特种电子气体伴随这些行业的高速发展增长亦十分可观。 常用的含氟特种电子气体有六氟化硫(sf6)、六氟化钨(wf6)、四氟化碳(cf4)、三氟甲烷(chf3)、三氟化氮(nf3)、六氟乙烷(c2f6)和八氟丙烷(c3f8)等。 三氟更多
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硅烷在使用中有哪些容易被大家忽略的安全风险
硅烷的一大应用是非晶半导体非晶硅。与单晶半导体材料相比非晶硅的特点是容易形成极薄的(厚度10nm左右)大面积器件,衬底可以是玻璃、不锈钢、甚至塑料,表面可以是平面也可是曲面,因此可以制成各种性能优异的器件。 如今,硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体, 用于各种微电子薄膜制备, 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深发展: 低温外延、选择外延、异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路,也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等)。在超晶更多
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常见的电子混合气体组分|纽瑞德特气
电子工业用气体统称为电子气。在大规模集成电路(lsi)、超大规模集成电路(vlsi)、半导体和电子器件生产与加工过程中,电子气主要用于气相外延生长、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、蚀刻、离子注入、溅射、退火、系统加压、洁净吹扫、吸气覆盖、氧化和还原等工艺。其中部分气体直接作为半导体源,如硅源、硼源、磷源和cvd 源等等。 常见的几种电子混合气体: oxygen in tetrafluoromethane 4% o2/cf4 8% o2/cf4 1更多
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常见的5种电子混合气体|纽瑞德特气
气体在半导体工业和微电子工业中扮演着不可或缺的角色,其中除了大家熟知的一些大宗气体以外,还有一个重要的分支:电子混合气体。电子混合气体广泛用于大规模集成电路(l.s.i)超大规模集成电路(v.l.s.i)和半导体器件生产中,主要用于气相外延(生成)、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、各类蚀刻和离子注入等工艺中。 根据不同用途又可以将电子混合气体分为:晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相淀积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊更多
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电子特气对纯度质量有什么标准?
随着半导体行业的快速发展,对电子特气的需求也随之增加。由于生产过程中对精密度要求非常高,对电子特气的纯度也有着非常高的要求。今天,纽瑞德小编和大家分享几点电子特气的纯度要求。 电子特气在其生产过程中涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术,下游客户对产品质量要求较高。尤其是极大规模集成电路、新型显示面板等精密化程度非常高的应用领域,对特种气体的纯化、杂质检测、储运技术都有着严格的要求。 高纯气体纯度:特种气体要求超纯、超净。纯度每提升一个 n更多
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电子特气最全种类大全|纽瑞德电子特气
电子特种气体是特种气体的一个重要分支,是集成电路(ic)、显示面板(lcd、oled)、光伏能源、光纤光缆等电子工业生产中不可或缺的关键性原材料,广泛应用于薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺,其质量对电子元器件的性能有重要影响。 气体的产品种类丰富,电子元器件在其生产过程中对气体产品存在多样化需求。就集成电路制造过程中需要的高纯特种气体和混合气体的种类超过 50 种,且每一种工艺步骤中都会用到特定的气体。此外,在显示面板、led、太阳能电池片等器件的制造中的不同工艺环节均更多
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四氟化碳是什么?有什么用?
四氟化碳又称四氟甲烷,被视为一种无机化合物。用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂。常温常压下比较稳定,但是需要避免接触强氧化剂、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃气体,如果遇到高热后会造成容器内压增大,有开裂、爆炸危险。通常常温下只会与液氨-金属钠试剂能发生作用。 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛用于硅、二氧化硅,磷硅玻璃等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄露检验剂、印刷电路生产中的去污剂等更多
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我国电子气体发展的三大难点!
电子气体是高科技产业重要的“源”资料,是集成电路制作过程中必不可少的要害支撑资料。据专业人士泄漏,中国半导体行业要实现从跟随走向引领的跨越,电子气体的打破一定会是最重要的一环。 半导体制作过程中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相堆积、分散等要运用大量的电子气体,且电子气体的纯度对芯片质量影响很大。跟着集成电路制程节点不断缩小(已经走到10/7纳米),对电子气体的颗粒度和杂质含量的要求也越来越高。因此,集成电路技能快速发展,对电子气体的种类、数量、质量、安全性以及安稳更多